溅射刻蚀

规范用词溅射刻蚀

英文翻译sputtering etching

所属学科航天科学技术 > 航天制造工艺

名词审定航天科学技术名词审定委员会

见载刊物《航天科学技术名词》 科学出版社

公布时间2005年