规范用词活性反应离子镀
英文翻译activated reactive evaporation;ARE
名词定义利用电子束蒸发并通过活化极活化的反应离子镀。
所属学科机械工程 > 机械制造工艺与设备 > 表面工程 > 气相沉积
名词审定机械工程名词审定委员会
见载刊物《机械工程名词（第二分册）》 科学出版社
公布时间2003年