规范用词等离子鞘离子注入
英文翻译plasma sheath ion implantation;PSII
名词定义在等离子体中，加有负脉冲高电压的样品或工件表面形成等离子鞘层，对工件进行离子注入的过程。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 表面改性和涂层技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年