规范用词外助气相沉积法
英文翻译vapor phase deposition with assistant gas
名词定义借助于外加的气体起到输运和调整化学位的作用，促进晶体生长。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 晶体生长
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年