激光蒸发沉积

规范用词激光蒸发沉积

英文翻译laser evaporation deposition

名词定义利用大功率激光的热效应使蒸发材料被蒸发沉积在基体上成膜。

所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物材料科学技术名词》 科学出版社

公布时间2011年

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