规范用词贵金属靶材
英文翻译precious metal target materials
名词定义集成电路布线和制备薄膜等方面使用的贵金属及其合金的溅射靶材的统称。
所属学科材料科学技术 > 金属材料 > 有色金属材料 > 贵金属及其合金
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年