钽基介电薄膜

规范用词钽基介电薄膜

英文翻译tantalum based dielectric film

名词定义用溅射法在基片上沉积的以金属钽为基的介电薄膜材料。

所属学科材料科学技术 > 金属材料 > 有色金属材料 > 高熔点金属及其合金

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物材料科学技术名词》 科学出版社

公布时间2011年

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