规范用词钽基介电薄膜
英文翻译tantalum based dielectric film
名词定义用溅射法在基片上沉积的以金属钽为基的介电薄膜材料。
所属学科材料科学技术 > 金属材料 > 有色金属材料 > 高熔点金属及其合金
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年