规范用词各向同性刻蚀
英文翻译isotropic etching
名词定义通常是指不同的结晶学平面呈现出相同腐蚀速率的腐蚀方法。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年