规范用词腐蚀坑
英文翻译etch pit
名词定义在晶片表面上存在晶体缺陷或应力区处，因择优腐蚀形成的凹坑。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年