规范用词平整度
英文翻译flatness
名词定义晶片表面与基准平面之间最高点和最低点的差值。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年