规范用词局部平整度
英文翻译site flatness
名词定义在合格质量区内，一个局部区域的总指示读数的最大值。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年