规范用词锥度
英文翻译taper
名词定义硅片正、背两表面的平行度。代表整个硅片厚度变化的线性度。
中文又称平行度
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年