气相掺杂

规范用词气相掺杂

英文翻译gas phase doping;vapor phase doping

名词定义通过气相使杂质进入半导体的技术。

所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 总论

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物材料科学技术名词》 科学出版社

公布时间2011年

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