规范用词颗粒状多晶硅
英文翻译granular polysilicon
名词定义在流态化床内进行化学气相沉积制成的,平均粒径为1mm左右的颗粒状多晶硅。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年