颗粒状多晶硅

规范用词颗粒状多晶硅

英文翻译granular polysilicon

名词定义在流态化床内进行化学气相沉积制成的,平均粒径为1mm左右的颗粒状多晶硅。

所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物材料科学技术名词》 科学出版社

公布时间2011年

元素半导体材料 的上级学科
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