规范用词西门子法多晶硅
英文翻译polycrystalline silicon by Siemens process
名词定义经过精馏提纯的高纯度三氯氢硅(SiHCl3)通过高纯度氢气(H2)还原而制得的多晶硅棒。因制备工艺为西门子公司发明而得名。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年