规范用词硅烷法多晶硅
英文翻译polycrystalline silicon by silane process
名词定义将高纯硅烷热分解制得的多晶硅。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年