洁净区

规范用词洁净区

英文翻译denuded zone

名词定义在硅片正表面之下很薄的一个特定区域。该区域中非故意掺入杂质(如氧和金属杂质)的浓度和缺陷(如氧沉淀)的密度都很低。

所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物材料科学技术名词》 科学出版社

公布时间2011年

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