规范用词测试片
英文翻译test wafer
名词定义用于加工工艺检测、区域和加工洁净度检测的硅片。等级比机械测试片高，比正片低。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年