规范用词外延层厚度
英文翻译thickness of an epitaxial layer
名词定义从晶片表面到外延层-衬底界面的距离。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年