规范用词微粗糙度
英文翻译microroughness
名词定义在不规则物 (空间波长) 之间的间隔于小于1001m时的表面粗糙度分量。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年