规范用词辉光放电沉积
英文翻译glow discharge deposition
名词定义利用等离子体分解化合物源，以淀积生长薄膜晶体的技术。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 非晶和微晶半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年