规范用词物理气相沉积
英文翻译physical vapor deposition;PVD
所属学科冶金学 > 冶金过程及物理化学 > 冶金过程热力学
名词审定冶金学名词审定委员会
见载刊物《冶金学名词》 科学出版社
公布时间1999年