规范用词干涉显微镜
英文翻译interference microscope
名词定义应用光的干涉原理测量零件表面粗糙度的光学仪器。
所属学科机械工程 > 仪器仪表 > 光学仪器 > 光学计量仪器
名词审定机械工程名词审定委员会
见载刊物《机械工程名词（第三分册）》 科学出版社
公布时间2003年