规范用词氟化氙准分子激光器
英文翻译xenon fluoride excimer laser
名词定义以氙、三氟化氮(或氟)、氦的混合气体为工作物质的准分子激光器。
所属学科机械工程 > 仪器仪表 > 光学仪器 > 激光器件和激光设备 > 激光器名称
名词审定机械工程名词审定委员会
见载刊物《机械工程名词（第三分册）》 科学出版社
公布时间2003年