激光蒸发与沉积

规范用词激光蒸发与沉积

英文翻译laser evaporation and deposition

名词定义利用高能量密度的激光束,使材料气化并沉积在适当基体上,以获得各种薄膜的方法。

所属学科机械工程 > 仪器仪表 > 光学仪器 > 激光器件和激光设备 > 激光应用

名词审定机械工程名词审定委员会

见载刊物机械工程名词(第三分册)》 科学出版社

公布时间2003年

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