规范用词二次离子谱仪
英文翻译secondary ion spectrometer
名词定义适用于元素的表面分布、深度分布的微区分析的能谱仪。
所属学科机械工程 > 仪器仪表 > 分析仪器 > 能谱和射线分析仪器 > 能谱和射线分析仪器仪器和附件
名词审定机械工程名词审定委员会
见载刊物《机械工程名词（第三分册）》 科学出版社
公布时间2003年