气相沉积科技名词
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气相沉积
vapor deposition
物理气相沉积
physical vapor deposition
化学气相沉积
chemical vapor deposition
等离子体化学气相沉积
plasma chemical vapor deposition
磁控溅射镀
magnetron sputtering
离子镀
ion plating
反应离子镀
reactive ion plating
活性反应离子镀
activated reactive evaporation;ARE
空心阴极离子镀
hallow cathode deposition;HCD
电弧离子镀
arc ion plating
气相沉积 的上级学科
机械工程
机械制造工艺与设备
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