薄膜制备技术科技名词
薄膜制备技术科技名词：第2页
活性反应蒸镀
activated reactive evaporation deposition
空心阴极离子镀
hollow cathode deposition
电弧离子镀
arc ion plating
多弧离子镀
multi-arc ion plating
化学气相沉积
chemical vapor deposition;CVD
热化学气相沉积
thermal chemical vapor deposition
等离子体增强化学气相沉积
plasma enhanced chemical vapor deposition
射频等离子体增强化学气相沉积
radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition
微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积
electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposition
激光化学气相沉积
laser chemical vapor deposition
激光热化学气相沉积
laser thermal chemical vapor deposition
光化学气相沉积
photo chemical vapor deposition
热解反应
pyrolytic reaction
水解反应
hydrolysis reaction
碳化物生成反应
carbide reaction
稳态液相外延
homeostasis liquid phase epitaxy
瞬态液相外延
transient liquid phase epitaxy
平衡降温生长
equilibrium cooling epitaxial growth
分步降温生长
undercooling epitaxial growth
金属有机源
metalorganic source
激光分子束外延
laser molecular beam epitaxy;LMBE
直流热阴极等离子体化学气相沉积
direct current hot cathode plasma chemical vapor deposition
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