规范用词激光热化学气相沉积
英文翻译laser thermal chemical vapor deposition
名词定义激光的能量只用于局部加热基底,沉积只发生在基底被加热的部分的化学气相沉积。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年