规范用词二次离子质谱计
英文翻译secondary ion mass spectrometer
名词定义用一次离子束轰击试样，对生成的二次离子进行质谱分析的一种质谱计。还可和能谱仪联用。
所属学科机械工程 > 仪器仪表 > 分析仪器 > 质谱仪器 > 质谱仪器仪器和附件
名词审定机械工程名词审定委员会
见载刊物《机械工程名词（第三分册）》 科学出版社
公布时间2003年