规范用词扫描离子微区探针
英文翻译scanning ion microprobe
名词定义利用细微的一次离子束对被分析表面扫描轰击，顺序取得微区信息的一种二次离子质谱计。
所属学科机械工程 > 仪器仪表 > 分析仪器 > 质谱仪器 > 质谱仪器仪器和附件
名词审定机械工程名词审定委员会
见载刊物《机械工程名词（第三分册）》 科学出版社
公布时间2003年