规范用词电阻加热蒸发
英文翻译resistance heating evaporation
名词定义把蒸发材料放入适当形状的电阻加热体内，通电使蒸发材料直接加热蒸发，或者把蒸发材料放入Al2O3等坩埚中进行间接加热蒸发。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年