规范用词射频溅射
英文翻译radio frequency sputtering
名词定义利用射频电源，通过耦合电容将负电位加到靶上，对介质靶、半导体靶实现高速率溅射的技术。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年