规范用词溅射沉积
英文翻译sputtering deposition
名词定义用高能粒子轰击靶材，使靶材中的原子溅射出来，沉积在基底表面形成薄膜的方法。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年