规范用词反应溅射
英文翻译reactive sputtering
名词定义溅射镀膜中通入反应气体实现化合物镀膜的技术。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年