规范用词双蒸发蒸镀
英文翻译double source electron beam evaporation
名词定义采用两个电子束蒸发源,通过控制其各自的蒸发速率,改变两种蒸气的沉积速率比的镀膜方法。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年