电弧蒸发

规范用词电弧蒸发

英文翻译arc evaporation

名词定义将蒸发材料作为电极,在外加电压下,电极间依靠等离子体导电产生弧光放电,从而使电极材料被蒸发。

所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物材料科学技术名词》 科学出版社

公布时间2011年

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