规范用词各向异性刻蚀
英文翻译anisotropic etching
名词定义沿着不同的结晶学平面，呈现不同腐蚀速率的腐蚀方法。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年