半导体材料制备科技名词
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熔体生长法
melt growth method
水平[晶体]生长法
horizontal crystal growth method
直拉法
vertical pulling method
磁场直拉法
magnetic field Czochralski method
悬浮区熔法
floating-zone method
液封覆盖直拉法
liquid encapsulated Czochralski method
覆盖剂
encapsulated agent
升华再结晶法
sublimate recrystallization method
垂直梯度凝固法
vertical gradient freeze method;VGF
边缘限定填料法
edge-defined film-fed growth;EFG
外延
epitaxy
外延层
epitaxial layer
外延衬底
epitaxial substrate
同质外延
homoepitaxy
异质外延
heteroepitaxy
液相外延
liquid-phase epitaxy;LPE
气相外延
vapor phase epitaxy;VPE
氢化物气相外延
hydride vapor phase epitaxy;HVPE
固态源分子束外延
solid source molecular beam epitaxy;SSMBE
气态源分子束外延
gas source molecular beam epitaxy;GSMBE
表面黏附系数
sticking coefficient of surface
金属有机源分子束外延
metal-organic molecular beam epitaxy;MOMBE
化学束外延
chemical beam epitaxy;CBE
原子层外延
atomic layer epitaxy;ALE
分子层外延
molecular layer epitaxy;MLE
锁相外延
phase-locked epitaxy;PLE
迁移增强外延
migration enhanced epitaxy;MEE
椭圆缺陷
oval defect;OD
射频等离子体辅助分子束外延
radio frequency plasma assisted molecular beam epitaxy
微波等离子体辅助分子束外延
microwave plasma assisted molecular beam epitaxy
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