半导体材料制备科技名词
半导体材料制备科技名词：第2页
激光辅助等离子体分子束外延
laser assisted plasma molecular beam epitaxy
金属有机化合物气相外延
metal-organic vapor phase epitaxy
低压金属有机化合物气相外延
low pressure metalorganic vapor phase epitaxy;LP-MOVP
低压金属有机化学气相沉积
low pressure metalorganic chemical vapor phase deposition
常压金属有机化合物气相外延
atmosphere pressure metalorganic vapor phase epitaxy
常压金属有机化学气相沉积
atmospheric pressure metalorganic chemical vapor phase deposition
等离子增强金属有机化合物气相外延
plasma enhanced metalorganic vapor phase epitaxy;PE-MOVPE
等离子体辅助外延
plasma assisted epitaxy
光增强金属有机化合物气相外延
photo-enhanced metalorganic phase vapor epitaxy
离子束外延
ion beam epitaxy;IBE
金属有机化合物原子层外延
metal-organic atomic layer epitaxy
激光原子层外延
laser atomic layer epitaxy
选择性外延生长
selective epitaxy growth
侧向外延
epitaxial lateral overgrowth
热壁外延
hot wall epitaxy;HWE
冷壁外延
cool wall epitaxy
低压化学气相沉积
low pressure chemical vapor deposition;LP-CVD
射频等离子体化学气相沉积
radio frequency plasma chemical vapor deposition
微波等离子体化学气相沉积
micro-wave plasma chemical vapor deposition
等离子体辅助物理气相沉积
plasma assisted physical vapor deposition
激光辅助化学气相沉积
laser assisted chemical vapor deposition
激光增强化学气相沉积
laser enhancement chemical vapor deposition
激光诱导化学反应
laser induced chemical reaction
立式反应室
vertical reactor
水平反应室
horizontal reactor
基座
susceptor
气体输运系统
gas handling system
固相外延
solid phase epitaxy
迁移增强外延法
migration enhanced epitaxy
离子束增强沉积
ion beam enhanced deposition;IBED
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