规范用词气相外延
英文翻译vapor phase epitaxy;VPE
名词定义将外延层所需的化学组分以气相的形式，通过物理或化学变化在衬底上进行的外延。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年