规范用词微波等离子体辅助分子束外延
英文翻译microwave plasma assisted molecular beam epitaxy
名词定义在分子束外延生长中，用高能量微波激励气体源物质辉光放电，产生活性气体源粒子，提高生长薄膜晶体质量的技术。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年