规范用词原子层外延
英文翻译atomic layer epitaxy;ALE
名词定义在分子束外延和金属有机物化学气相淀积过程中，利用化学反应中异种组元原子(分子)的化学吸附能力不同的特性，控制组元原子束流的种类和供应量，使交替生长的薄膜晶体达到原子尺度平整度的晶体生长技术。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年