规范用词气态源分子束外延
英文翻译gas source molecular beam epitaxy;GSMBE
名词定义对化合物半导体薄膜而言，某些组分采用固体源物质，而某些组分采用气态源物质的分子束外延生长的技术。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年