规范用词分子层外延
英文翻译molecular layer epitaxy;MLE
名词定义将含有化合物半导体组元的气体分子，单独交替地引入到生长室，在准分子激光或紫外光同步辐照下，加速衬底表面被吸附分子的化学分解与表面迁移，促进薄膜晶体生长的技术。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年