规范用词迁移增强外延
英文翻译migration enhanced epitaxy;MEE
名词定义在Ⅲ-Ⅴ族化合物薄膜材料的分子束外延生长过程中，使Ⅲ族金属原子束流与Ⅴ族原子(分子)束流在较低的温度下交替喷射到生长晶体表面，获得原子级平整度薄膜晶体外延生长的技术。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年