规范用词表面黏附系数
英文翻译sticking coefficient of surface
名词定义已经被黏附于衬底表面上的原子(分子)数与喷射抵达表面的原子(分子)总数之比。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年