规范用词低压金属有机化学气相沉积
英文翻译low pressure metalorganic chemical vapor phase deposition
名词定义在低于一个大气压条件下，将金属有机化合物通过气相输运到材料的衬底上的工艺。生长的薄层不一定是单晶。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年