规范用词等离子体辅助外延
英文翻译plasma assisted epitaxy
名词定义利用等离子体促进化学反应、降低反应温度的气相外延。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年