规范用词离子束增强沉积
英文翻译ion beam enhanced deposition;IBED
名词定义电子束蒸发或溅射沉积薄膜的同时，用一定能量的离子束进行轰击，以在衬底上形成具有特定性能表面覆盖层的技术。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年